关于气体的质量流量的测量现在应用最广的的是热式气体质量流量计，但是在使用的过程中可能会受到一些因素的影响，测量数据的不准确，也就是精度不高。我们知道，气体的热性质会跟着压力和温度的改动也进行改动，现在由于气体温度的一些变化，密度成分也会发生一定的变化。

比如，例如如空气受温度的影响大一些而CO2则受压力的影响更大一些。 由于其温度和压力以及密度发生变化。测量的是气体质量流量计，根据质量换算公式m=dV；m气体的质量， d气体的密度，V气体的体积，我们可以看出密度发生变化，质量也再发生变化。其次，所测得气体里面可能会含有杂质或者是水汽，当气体里面的杂质附着在了热式气体质量流量计的探头上面，这个时候传感器的灵敏度就没有那么高了，如果是形成水汽，那么我们知道会有冷凝现象，传感器上面出现冷凝现在，那么外部环境真是的是温度感应就会隔断了。传感器测不到温度数据的变化，测量数据自然就不精确，不稳定。

解决上面问题的方案就是对热式气体质量流量计进行温压补偿，解决温度和压力对于数据测量不稳定，对气体中形成冷凝可以对传感器用膜片隔离开来， 传感器做涂层来解决问题。